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碳化硅激光退火设备

本设备用于碳化硅的欧姆退火工艺，具备裸片自动上下料、晶圆自动校准等功能。 加工工艺效果优异；加工效率高；设备运行无需耗材，加工成本较低。

  • 咨询电话：0512-6507 0150
  • 电子邮箱：yj.tao@delphilaser.com

■ 设备优势

◆ 激光器自制，自主可控

◆ 工艺窗口较广，可兼容其他材料的退火要求

◆ 符合SEMI行业标准


■ 应用领域

      应用于碳化硅晶圆片的背金激光退火（以碳化硅材料为基板的晶圆）。




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