Micro LED激光巨量转移设备
该设备不仅可以保证激光巨量转移过程中不对芯片造成损伤,而且还保证Micro-LED转移落点精准并可按照需求设置转移后Micro LED芯片阵列排布,并可以结合AOI&PL机台mapping图,高速准确选择性转移ok片。
■ 设备参数
◆ X轴:行程400mm,解析度0.1μm
◆ Y轴:行程400mm,解析度0.1μm
◆ Z轴:行程20mm,解析度0.1μm
◆ θ轴:行程120°,解析度0.0001°
◆ 转移作用材质:Micro-LED器件-特定基板
◆ 加工产品尺寸:根据客户要求定制
■ 设备优势
◆ 良率高
◆ 效率高
◆ 全自动三色上下料
■ 应用领域
应用于新型显示行业的激光巨量转移,通过直转/二次转移等方式将三色芯片转移到基板上。
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