激光应力诱导切割设备 - 激光刻蚀设备|晶圆切割设备-苏州德龙激光股份有限公司
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激光应力诱导切割设备

型号Inducer-5260,该设备利用应力诱导切割技术对LED基板的蓝宝石材料进行加工

型号Inducer-5260,该设备利用应力诱导切割技术对LED基板的蓝宝石材料进行加工





◆ 划片速度快,切割过程无暂停

◆ 产能高、良率高,设备稳定

◆ 设备无需任何耗材,使用成本优势明显






◆ 激光种类:半导体泵浦皮秒激光器

◆ 激光功率:≥1W

◆ 冷却方式:封闭式循环水冷

◆ X轴:行程360mm,解析度0.1um

◆ Y轴:行程300mm,解析度0.1um

◆ Z轴:行程15mm,解析度1um

◆ θ轴:行程±60°,解析度0.0001°

◆ 划片深度:10~25μm

◆ 加工2英寸产能:24pcs/h@10*23mil2英寸)

◆ 划片尺寸:2英寸、4英寸(可升级6英寸)

◆ 双焦点功能:选配






应用材料和领域:

  ◆ 应用于led照明行业的蓝宝石材料衬底的晶圆片直线切割

  ◆ 适用于其他行业蓝宝石材料的直线切割


加工效果示例图: