超短脉冲LTCC/HTCC钻孔蚀刻设备 - 激光刻蚀设备|晶圆切割设备-苏州德龙激光股份有限公司
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超短脉冲LTCC/HTCC钻孔蚀刻设备

该设备主要用于LTCC生坯、铁氧体等材料的通孔、半通孔以及腔体的快速加工,还可以进行各种材料的刻蚀切割等精细加工

该设备主要用于LTCC生坯、铁氧体等材料的通孔、半通孔以及腔体的快速加工,还可以进行各种材料的刻蚀切割等精细加工。







  ◆ 双头激光加工设备,实现两套振镜系统同时超高速打孔,单头打孔速度超过2000孔/秒,打孔孔径20μm~40μm连续可调

  ◆ 设备实现全自动上下料,节约人工,提高设备工作效率

  ◆ 针对客户不同尺寸的料片,设计吸盘之间的相对位置可调,从而兼容了6寸到8寸不同大小料片






 



适用材料

LTCC生瓷片、铁氧体材料

加工方式

通孔、半通孔、刻蚀、切割

最小加工孔径

20μm

加工精度

±5μm

片材大小

6/8

加工效率

10002000/

上下料方式

全自动





加工效果示例图: