五轴激光微纳加工设备 - 激光刻蚀设备|晶圆切割设备-苏州德龙激光股份有限公司

五轴激光微纳加工设备

该系统是一套多维超快激光精细微加工系统，通过精密控制多维微位移系统的运动，实现各类斜面、锥面以及球体的三维立体空间超精细微加工。并成功的应用航天发动机部件、汽车喷油嘴器件、和雷达核心行波管栅网加工等军工产品应用。

◆ 采用超短脉冲激光，将表面的热影响和残渣减至最小。
◆ 采用多轴平台，可实现各类斜面、锥面以及球体的三维立体空间超精细微纳加工。
◆ 材料适应性强，对各类金属、陶瓷、晶体、半导体以及高分子聚合材料进行超精细精密钻孔、切割、蚀刻以及划槽等微加工处理，比较成熟的应用在航空航天、汽车、模具、微电子等行业。

◆ 设备型号：LMS-10
◆ 激光种类：超短脉冲激光
◆ 波长：1064nm,532nm,355nm（波段可选择，可集成双光路系统、三光路系统）
◆ X/Y/Z轴定位精度：±2um / ±2um / ±4um
◆ X/Y/Z轴重复定位精度：±1.5um / ±1.5um / ±3um
◆ A/B角度定位精度： 0.003° / 0.003°
◆ A/B角度重复定位精度：0.001° / 0.001°

▌加工效果示例图：

合金无锥度通孔加工

脆性材料的微盲槽加工

喷油嘴打孔3D微孔加工

三维栅网加工